超純水設備采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。
　　超純水設備所生產的超純水電阻率一般應大于10兆歐，10兆歐以上的水才叫超純水。一般超純水出水能達到18.2兆歐。超純水設備技術通過純化柱進行深度脫鹽處理就得到一級水或者超純水，在超純水后面加上紫外殺菌或者微濾、超濾等裝置，除去水中殘余的細菌、微粒、熱源等。精密濾芯、活性炭濾芯、反滲透膜、純化柱都是具有相對壽命的材料，精密濾芯和活性炭濾芯實際上是對反滲透膜的保護，如果它們失效，那么反滲透膜的負荷就加重，壽命減短，如果繼續開機的話，那產生的純水水質就下降，隨之就加重了純化柱的負擔，則純化柱的壽命就會縮短。終結果是加大了超純水機的使用成本。
　　超純水設備的工藝流程
　　不銹鋼濾網過濾器→PP精濾→AC活性碳→UF超濾→RO反滲透→RO反滲透→IX純化　　不銹鋼濾網過濾器→PP精濾→AC活性碳→UF超濾→RO反滲透→EDI